質(zhì)量流量計(jì)，質(zhì)量流量控制器的流量單位是什么？（slm/sccm）？

氣體質(zhì)量流量單位一般以SCCM（Standard Cubic Centimeter per Minute，每分鐘標(biāo)準(zhǔn)毫升）和SLM（Standard Liter per Minute，每分鐘標(biāo)準(zhǔn)升）來(lái)表示。這意味著，這種儀表在不同的使用條件下，指示的流量均是標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)下的流量。這是這種儀表和其它流量計(jì)的重要區(qū)別，也是SCCM﹑SLM 不同于mL/min﹑L/min 之處。
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